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用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备

759   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:08:01
本实用新型公开了一种用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备，该设备的主体真空腔室为卧式圆筒形结构，主体真空腔室的中心部位设置有旋转镀膜鼓；由隔板将主体真空腔室分隔为卷绕室、真空镀膜室和射频离子反应室，各室之间留有狭窄通道允许柔性基膜通过；卷绕室内设置有卷绕系统，卷绕系统包括放卷辊、放卷过渡辊、收卷过渡辊和收卷辊；真空镀膜室设置有磁控靶装置，所述的真空镀膜室和射频离子反应室均为2个以上。本实用新型通过射频离子反应室的设置，将镀膜室和反应室分开，实现了金属氧化物薄膜的高速制备，解决了金属氧化物的反应溅射镀膜缓慢的问题。
声明：
“用于新能源动力电池薄膜电极制备的卷绕镀膜设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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