提供用于处理物品的系统、设备和方法。该系统包括用于合成、预处理、进行气相涂层过程和以粉末和固体或多孔工件的形式对物品进行后处理的子系统。该设备允许气相合成、处理和沉积过程以高效率和高总吞吐量进行。该方法包括将固体、液体或气体转化为气体和固体流,这些流可以用或不用处理和/或涂层步骤分离或交换,并为特定应用生产优化的
复合材料。
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