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含铪的碳化物涂层及其制备方法

717   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:47
本发明涉及一种含铪的碳化物涂层的制备方法，就是将四氯化铪HfCl4蒸汽通入放置有已加热至工艺温度的待处理工件且置于通有保护气氛的容器内，然后通入反应量的氢气H2和甲烷CH4，使四氯化铪HfCl4蒸汽与氢气H2和甲烷CH4气体反应并在该工件上沉积制成；制得的涂层为碳化铪HfCx，X为0.9-1。本发明不仅获得较高的涂层沉积速率，而且提高了原材料利用率，省去了复杂的真空系统，降低设备及工艺成本，对基材无损伤。同时C/C复合材料制得的涂层与基体结合力强，涂层均匀，涂层覆盖全面，具备良好的长时抗高温氧化浸蚀应用潜力。且涂层总厚度可在5μm～100μm之间任意调控。
声明：
“含铪的碳化物涂层及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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