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二氧化硅纳米球阵列-VO2薄膜复合结构制备方法

724   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:46
本发明公开一种二氧化硅纳米球阵列‑VO2薄膜复合结构制备方法，利用提拉镀膜和磁控溅射镀膜工艺制备VO2薄膜沉积在二氧化硅纳米球阵列的结构，通过调节快速热退火的方式制备二氧化钒薄膜参数，并借助傅里叶变换红外光谱仪探讨结构透射率的变化规律。本发明将二氧化钒球壳和二氧化硅材料的结合展现出的结构色可以用在智能窗颜色的调节上，可以开发更具应用价值的复合材料。
声明：
“二氧化硅纳米球阵列-VO2薄膜复合结构制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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标签：
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