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碳化硅器件高温快速热处理工艺及其装置

735   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:44:07
本发明提供了碳化硅器件高温快速热处理装置，包含至少一个反应腔室，反应腔室内包含上下两个面对面设置的加热器，上加热器也被用作具有通气孔的气体分布器，晶圆放置在下加热器的顶端，加热器由包覆着碳化硅或碳化钽或者两者混合表层的石墨和或碳复合材料制造。本发明提高了碳化硅工艺的温度，满足了现代碳化硅加工工艺的温度要求。
声明：
“碳化硅器件高温快速热处理工艺及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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