本发明提供一种TiO
2‑Ti
3C
2T
x复合薄膜气体传感器及其制备方法和用途,包括TiO
2‑Ti
3C
2T
x复合薄膜气体传感元件,所述TiO
2‑Ti
3C
2T
x复合薄膜气体传感元件包括具有
氧化铝陶瓷基底层的叉指电极和TiO
2‑Ti
3C
2T
x敏感材料层,TiO
2‑Ti
3C
2T
x敏感材料涂覆在所述叉指电极表面,所述的TiO
2‑Ti
3C
2T
x敏感材料层通过在二维Ti
3C
2T
x纳米材料上原位生长TiO
2纳米颗粒所制得的。本发明以二维Ti
3C
2本身为钛源,通过一步水热法合成了具有规则形貌的TiO
2‑Ti
3C
2T
x纳米
复合材料,制备过程较环保简单,是一种设备投资小,工艺流程简单的二维半导体制备方案。本发明的TiO
2‑Ti
3C
2T
x传感器,由于材料间有效的协同作用,TiO
2‑Ti
3C
2T
x传感器对测试气体的气敏性能均表现出增强的响应。
声明:
“TiO2-Ti3C2Tx复合薄膜气体传感器及其制备方法和用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)