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用于在基板上形成金属网格的方法

954   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:42:10
本发明提供了一种用于在基板上形成金属网格的方法,所述方法包括以下步骤:(1)在所述基板的一个表面上依次涂覆UV可固化材料、包含Pd2+复合材料、以及保护层材料;(2)将涂覆后的基板进行曝光和显影过程,以按照期望的图案在所述基板的表面上依次形成UV可固化层和Pd2+层;(3)通过还原剂将所述Pd2+层还原为Pd0层;以及(4)在所述图案上镀铜,从而形成所述金属网格。本发明的在基板上形成金属网格的方法不需要单独的合成胶体钯纳米颗粒的过程,而是使用Pd2+作为涂覆材料,然后在湿法沉积的过程中使用还原剂将其还原为Pd0,继而用作化学镀铜的催化剂,而且与现有工艺相比还有助于提高整个工艺的一致性。
声明:
“用于在基板上形成金属网格的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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