本发明提供一种直拉单晶石英坩埚用承载装置,包括支撑坩埚,在所述支撑坩埚和所述石英坩埚之间设有隔层,所述隔层绕设于所述石英坩埚外壁并沿所述石英坩埚长度方向设置。本发明提出的承载装置,结构简单且易于固定,可操作性高,能有效降低硅单晶碳含量,提升单晶品质;同时还可延长碳/碳
复合材料坩埚或
石墨坩埚与石英坩埚的使用寿命,降低生产成本,适普性广。
声明:
“直拉单晶石英坩埚用承载装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)