本发明涉及一种MEMS光纤传声器,包括外壳、PCB板、MEMS振膜和光纤,外壳的两侧与PCB板的底面粘合,PCB板上设有止推片,在止推片上设有凹形振膜座,MEMS振膜置于振膜座的内凹处,光纤依次贯穿振膜座、止推片和PCB板后引出,且另一端与MEMS振膜之间留有一定空隙,外壳的顶面且在光纤上方开设有进声孔,PCB板上设有光电探测器和光电二极管。利用光纤将声音信号先转换成光信号,再转换成电信号,使得抗干扰能力强,而且MEMS振膜由聚芳酯
复合材料制成,并在振膜环状边界处用激光打孔,使其综合性能较传统材料制成的振膜性能优异,在机场、水下听音器、激光远距离、核磁共振等重要领域得到广泛应用。
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