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晶硅太阳能电池的制造工艺

1054   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:40:16
本发明涉及太阳能电池制造领域，具体涉及在提高光电转换效率的晶硅电池的表面钝化和减反技术。本发明是针对现有的电池技术的工艺流程，用原子层沉积以及等离子体原子层沉积制造SiO2、Al2O3、SiNx等材料的纳米叠层和复合材料, 对晶硅电池的正反两面同时进行钝化层镀膜处理，从而延长少子寿命, 提升电池的光电转换效率。钝化层镀膜完成后可继续进行SiNx减反层镀膜，从而可集成钝化、减反工艺于同一流程, 降低成本, 提高产能。本发明尤其适用于与黑硅技术结合，避免了多重工艺。另外，对于双面电池，使用本发明同时进行双面钝化更是必要的选择。
声明：
“晶硅太阳能电池的制造工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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