本发明涉及一种基于应变能测量图形化薄膜等效杨氏模量的方法,包括:从微观尺度着手将图形化结构假设为
复合材料结构,进一步从宏观尺度等效成均质等效体;利用能量法和有限元的方法求解出用弹性应变能表示的图形化结构的等效弹性矩阵;将其作为图形化结构参数并建立图形化薄膜/衬底分层结构;计算声表面波在分层结构中传播的理论频散曲线;获得待测样片实验频散曲线;理论曲线与实验曲线匹配得到图形化薄膜样片的等效杨氏模量。本发明能够无损、准确、快速的测量图形化结构的力学参数,填补了之前方法不能表征图形化结构特性的空缺。
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