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输电塔超声波防冻装置

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:39:33
本发明涉及一种输电塔超声波防冻装置，包括风力发电机组、湿度传感器、单片机控制开关、超声波雾化器；风力发电机组通过单片机控制开关与超声波雾化器电气连接，湿度传感器与单片机控制开关电气连接；所述的湿度传感器基于氧化锆复合材料，该湿度传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO3薄膜，WO3薄膜之上设有插指电极，该插指电极是通过IC工艺流程中lift‑off技术实现的，并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜，在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜。
声明：
“输电塔超声波防冻装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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