本发明公开了一种超薄热管毛细结构及其制备方法,该毛细结构包括基板及设置在基板上的铜微柱阵列,其中,所述的铜微柱阵列表面具有微或/和纳米级孔洞。其制备步骤为:采用光刻技术和
电化学沉积法,在基板表面沉积出Cu‑Al
2O
3纳米
复合材料的微柱阵列;将沉积出的微柱阵列浸泡在NaOH溶液中,将Al
2O
3纳米颗粒溶解,得到表面具有微或/和纳米级孔洞的铜微柱阵列。本发明制造方法简单,制得的毛细结构表面的多孔结构能够有效增强热管的沸腾传热,提高热管的临界热通量,从而显著提升热管的传热性能。
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