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用于增强铜的电迁移抵抗性的涂布方法

732   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:37:15
本发明提供一种制造多层复合器件的方法，包括：(A)在介电层中 具有铜区域的表面上形成介电层，通过使该表面接触：a)溶液，该溶液 含有如权利要求1中所述的苯胺的重氮盐、带有至少一种官能团的重氮 盐或式H2N-A-X-Z的胺化合物：b)或者接触，含有芳基重氮盐的第一溶 液，然后含有带有至少一种选自硅烷、硅氮烷、硅氧烷、胺、羟基和羧 基的官能团和带有至少一种能够与由于该芳基重氮盐而接枝在该复合材 料的表面上的芳基反应的官能团的化合物的第二溶液；(B)形成由含硅 的介电铜-蚀刻停止层和/或铜扩散阻挡层构成的覆层。
声明：
“用于增强铜的电迁移抵抗性的涂布方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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