本发明公开一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法,涉及聚酯薄膜技术领域,抗静电聚酯层设置在聚酯薄膜基材的上端面,表层保护层设置在抗静电聚酯层的上端面,表层保护层采用聚烯烃膜,抗静电聚酯层采用有机‑无机
复合材料,其中,有机材料采用丙烯酸酯树脂,无机材料采用改性纳米无机粒子,本发明在原有的聚酯薄膜上粘附有抗静电层,有效地降低了薄膜的表面电阻,使薄膜具有稳定、良好地抗静电性能,能有效的防止静电吸附杂质,而造成对聚酯薄膜表面的污染,同时,添加的抗静电层并不会影响聚酯薄膜原有的光学性能和机械性能,进而提高了抗静电干膜抗蚀剂的综合性能,制备简单,产品稳定可靠。
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