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测量范围可调的隧道结磁电阻传感器及其制备方法

628   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:33:18
测量范围可调的隧道结磁电阻传感器及其制备方法，包括基底、绝缘层、磁阻导电层和磁阻结构；磁阻结构设置在基底的上表面，绝缘层设置在磁阻结构两侧的基底上，磁阻导电层设置在磁阻结构及绝缘层上表面；基底包括基底底电极、压电材料和基底顶电极，基底底电极和基底顶电极分别设置在压电材料的下表面和上表面；磁阻结构包括缓冲层、钉扎层和磁隧道结层；两个缓冲层叠加设置在基底上表面，两个缓冲层之间自上而下依次设置磁隧道结层和钉扎层；磁隧道结层为被钉扎层/势垒层/自由层组成的层状结构，其中被钉扎层位于钉扎层上表面。本发明利用磁电复合材料中磁各向异性场的电场调控效应，实现了使用电场对磁隧道结中自由层磁化方向的调节，具有效率高、体积小、能耗低、易于集成的特点。
声明：
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