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金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法

629   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:32:06
本发明涉及一种金属与金属碳化物叠加的复合涂层的制备方法，主要针对C/C复合材料的超高温防护，设计了一种低应力的交替涂层结构，即将零件放入电弧离子镀设备真空室中，经抽真空、通氩气、加负偏压溅射清洗、交替通入保护气体或保护气体和反应气体的混合气、引弧、沉积涂层、断电、冷却等阶段后取出零件得到涂层，该涂层结构在2273～3473K可有效降低涂层中的应力，防止碳化钽涂层开裂，同时，提供的电弧离子镀方法，可在一个真空室中即可进行交替涂层的叠加沉积，无需转移零件，没有污染性产物排出，环境友好，涂层前的溅射清洗和沉积中附加的偏压，可有效提高结合力，沉积速率较高。本发明所述制备方法，其工艺和操作都十分简便，便于工业化生产。
声明：
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