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具有改进的成像分辨率的电子显微镜

589   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:31:28
一种电子显微镜，其包括：‑样本固持器，所述样本固持器用于固持样本；‑源，所述源用于产生电子射束；‑照明系统，所述照明系统用于引导所述射束以照射所述样本；‑细长射束导管，所述射束被引导通过所述细长射束导管；‑检测器，所述检测器用于检测响应于所述照射从所述样本发出的辐射，其中所述射束导管的至少纵向部分具有复合结构，所述复合结构包括：‑由电绝缘材料构成的外管；‑由导电材料构成的内表层。在替代性但相关的结构中，所述射束导管的至少纵向部分包含包括混合电绝缘材料和导电材料的聚集复合材料。
声明：
“具有改进的成像分辨率的电子显微镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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