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晶圆架

1015   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:30:12
一种晶圆架，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。支撑件对应设置于支架上，其中支撑件的材质不同于支架的材质，且支撑件的材质为具有抗腐蚀性的聚合材料。本发明提供的晶圆架藉由复合材料的组合同时兼具实用性与保护性。
声明：
“晶圆架” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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