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用于保持基板的基板载体

941   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:26:12
本发明涉及一种用于保持基板的基板载体，所述基板载体由承载框架(1)和至少一个基板容纳件(2)构成。承载框架(1)具有自支撑的而且挠曲刚性的框架结构，该框架结构由彼此成角度地布置的纵向支撑条(6)与横向支撑条(7)构成，所述纵向支撑条(6)和横向支撑条(7)由直至800℃仍形状稳定的材料构成。基板容纳件(2)平放在承载框架(1)上，并且以如下方式呈板状地构造，即，太阳能电池晶圆(5)可以定位在基板容纳件(2)的上侧上。在承载框架(1)与基板容纳件(2)之间存在有热绝缘元件(9)。承载框架(1)的元件和基板容纳件(2)由钢、钛、铝、陶瓷、CFC(CFC＝碳纤维增强的碳)或者由上述材料制成的复合材料来构成。
声明：
“用于保持基板的基板载体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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