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太阳能电池用减反射材料及其制备方法

851   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:26:12
本发明公开了一种太阳能电池用减反射材料及其制备方法。该减反射材料为氧化铒-氧化铝(Er2O3-Al2O3)复合材料,其中Al2O3的含量为20～30%,此减反射材料是稳定的非晶复合氧化物材料。采用射频磁控溅射制备,溅射靶为Er2O3和Al2O3混合陶瓷靶,在P型Si(100)衬底上制备得到ErAlO非晶减反射氧化物薄膜。本发明的太阳能电池用减反射材料有可调节的折射率,优良的减反射效果,和良好热稳定性、光学特性。
声明：
“太阳能电池用减反射材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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