本实用新型涉及热氢化C-C热场,属于四氯化硅热氢化设备。属于
多晶硅生产领域。其碳碳
复合材料多气腔结构置于底盘上,碳碳复合材料多气腔结构分为上、下两部,其结构相同,在下部结构的四周按120度均匀地设置有三个进气口,多气腔结构上、下部结构板材间用碳碳螺栓一次性连接固定,在多气腔结构上设置有顶盖,多气腔结构置于热氢化设备本体钟罩内,在热氢化设备本体钟罩的顶部设有炉膛顶部进气,顶盖与热氢化设备本体钟罩的侧面形成外围空间,在热氢化设备本体钟罩的底部中心设有出气孔,出气孔与底盘的气孔相通;其一、特殊的热场结构设计,增加转化炉热场的加热面积,增加反应气体的换热时间,进而提高转化率,减低电耗。其二、解决材料安装过程中的易损问题。其三、特殊热场结构设计和气路设计提高材料重复利用率,降低材料腐蚀腐朽,降低材料成本。
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