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具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法

562   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:18:50
一种具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法，属于电子材料技术领域。本发明在溶胶-凝胶法制备的钛酸钡体系中添加一定比例低温液相法制备的SBA材料组成高介电复合材料，然后将铝腐蚀箔浸渍于该高介电复合材料后进行高温热处理，最后通过阳极氧化在铝腐蚀箔表面生长高介电常数复合介质膜。由于钛酸钡与SBA材料的介电常数都比铝阳极氧化膜高，并且SBA的引入能有效控制钛酸钡在复合介质膜中的成分分布状态，对高介电相的介电性能起稳定作用，使得钛酸钡在复合介质膜中充分发挥其高介电性能，有效提高了铝电极箔的比容。本发明工艺简单易控，可与铝电极箔腐蚀、化成工艺生产线实现联动生产，所制备的铝化成箔比容与传统工艺相比在低压段有约40％的提高。
声明：
“具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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