一种具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法,属于电子材料技术领域。本发明在溶胶-凝胶法制备的钛酸钡体系中添加一定比例低温液相法制备的SBA材料组成高介电
复合材料,然后将铝腐蚀箔浸渍于该高介电复合材料后进行高温热处理,最后通过阳极氧化在铝腐蚀箔表面生长高介电常数复合介质膜。由于钛酸钡与SBA材料的介电常数都比铝阳极氧化膜高,并且SBA的引入能有效控制钛酸钡在复合介质膜中的成分分布状态,对高介电相的介电性能起稳定作用,使得钛酸钡在复合介质膜中充分发挥其高介电性能,有效提高了铝电极箔的比容。本发明工艺简单易控,可与铝电极箔腐蚀、化成工艺生产线实现联动生产,所制备的铝化成箔比容与传统工艺相比在低压段有约40%的提高。
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