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硅纯化装置及硅纯化方法

852   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:16:24
本发明的硅纯化装置的第1实施方式为一种硅纯化装置，该装置在减压容器内具备能够保持熔融硅(2)的坩埚(1)、能够设置在坩埚(1)上方的保温盖(5)、以及对熔融硅(2)进行加热的加热装置(3)，其中，在坩埚(1)的侧面外周部具有第1绝热材料(4)，保温盖(5)为碳毡制板状构件(502)，在其至少两个主面上具有碳复合材料(501a，501b)，保温盖(5)形成贯通其两个主面之间的开口部(6)，在保温盖(5)设置于坩埚(1)上面的状态下，设置保温盖(5)的坩埚(1)侧主面的碳复合材料(501a)，使其覆盖第1绝热材料(4)的上面。
声明：
“硅纯化装置及硅纯化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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