基板载置用托盘,可以包括:主体、引导部等。所述主体可以具有具备了载置基板的第一面的平板结构,并且可以由碳-碳
复合材料构成。所述引导部,可以引导所述基板向着所述主体,从而使所述基板载置于各自规定的位置。在
太阳能电池基板上形成薄膜时,所述基板载置用托盘可以实施为,在等离子氛围下的高温工序中也可以稳定地维持物理特性,并且可以形成为载置更多数量的基板的大面积。
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