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铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置

804   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:13:39
本发明公开了铝材表面的类金刚石覆膜改性方 法及其装置。装置包括绝缘体反应室，反应室与化学气相沉积 的供气系统及真空系统相连通，在反应室内有陶瓷围成的封闭 室和两块上下平行的电极，其中上电极位于封闭室中，其下表 面紧贴封闭室的底板面，与等离子体激发脉冲电源相连，下电 极接地并固定在封闭室外的加热器上，供气管的喷嘴位于两平 行电极间。采用该装置以 C2H6、H2、Ar组成的混合气体 为反应源气体，在铝材表面涂覆类金刚石(DLC)薄膜。本发明 工艺简单、成本低，实现了在铝材表面涂覆类金刚石薄膜，大 大提高了Al/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性 等综合性能。且成膜速度快，膜厚可达4－6μm而不脱落，结 合牢固。
声明：
“铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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