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高纯高产率网络状分枝氮化硅单晶纳米结构的制备方法

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:12:59
本发明涉及一种网络状分枝氮化硅单晶纳米结构的制备方法,属于材料制备技术领域。所述材料为高纯度的网络状分枝Α-氮化硅纳米结构。本发明采用热解有机前驱体方法在镀有金属催化剂的基片上合成网络状分枝氮化硅单晶纳米结构。含有步骤:(1)高含硅氮含量聚硅氮烷在160-300℃下的低温交联固化;(2)交联固化后的非晶固体在高耐磨器具中高能球磨粉碎;(3)高能球磨后得到的前驱体粉末在保护气氛下的快速高温热解、蒸发和在镀有金属催化剂薄膜的基片上的沉积。所述方法,蒸发源组成可控且可调,工艺和设备简单、成本低廉,所得网络状分枝结构产量大、纯度高,可用作高性能纳米复合材料中的增强增韧剂,同时还可于制作纳电子器件。
声明：
“高纯高产率网络状分枝氮化硅单晶纳米结构的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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