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纳米粒子-聚合物抗蚀剂

850   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:12:57
一种复合材料，其是包含以下各者的掺和物：包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子；和聚合物，其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体，其中所述配体是被取代或未被取代的C1?C16羧酸或其盐、被取代或未被取代的C1?C16氨基酸或其盐、被取代或未被取代的膦酸C1?C16二烷酯或其组合；并且其中所述聚合物是以下的聚合产物：包含可聚合基团的光酸产生剂；至少一种不饱和单体，其不同于所述包含可聚合基团的光酸产生剂；和式(I)的链转移剂；其中：Z是y价的C1?20有机基团，x是0或1，并且Rd是被取代或未被取代的C1?20烷基、C3?20环烷基、C6?20芳基或C7?20芳烷基。
声明：
“纳米粒子-聚合物抗蚀剂” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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