本发明提供一种垂直式发光二极管的制造方法,其包括下列步骤:提供一衬底;于衬底上形成一半导体层,该半导体层是具有以第II至VI族元素所构成的化合物;形成一金属反射层,使其与半导体层相互结合;形成至少一中间层及至少一类钻碳层;形成一
复合材料层;移除衬底;以及形成一第一电极层及一第二电极层,其分别设置于半导体层及复合材料层的一侧;其中,至少一中间层及至少一类钻碳层是以叠层的方式相互堆叠于金属反射层的一侧。本发明亦提供一种依前述制造方法制得的垂直式发光二极管。
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