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氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺

1020   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:11:18
本发明公开了一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺,仅使用惰性气体氩气作为载气及稀释气体,以目前国际通用的化学气相沉积炉作为复合氧化物薄膜制造设备,能够制备出比例可调的氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜,制备温度约500～800℃,可用于制备对氢气有强渗透性的薄膜、金属表面耐磨涂层以及非氧化物陶瓷基复合材料防氧化涂层。
声明：
“氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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