一种高激光吸收的铜熔丝可以使消掉导体的熔丝部分所需要的激光能量最少。该类熔丝结构允许形成能够用相当小的入射能量消除的铜熔丝。金属布线含有一种熔丝连线段,其中该熔丝连线段由至少两种金属的叠层构成。叠层金属的底层材料是导电铜导体,盖层金属是钨或钛-钨
复合材料,其厚度和光特性选择为使盖层金属与底层金属的结合提供对入射红外能量的高吸收特性。公开了在整个熔丝连线上或在选择部分的熔丝连线上提供盖层材料的制造方法。
声明:
“高激光吸收的铜熔丝及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)