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利用微波加热的化学气相沉积方法

672   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:10:24
本发明涉及化学气相沉积（CVD）技术领域，具体涉及一种利用微波加热的化学气相沉积方法。所述方法步骤包括：（1）将石墨、碳化硅、石墨复合材料或碳化硅复合材料中的一种，加工成所需形状的基体，悬挂在反应腔体内，将反应腔体密封并抽真空至0.1~1Torr；（2）利用微波辐射加热基体，微波的输出功率为1～80kW，将基体加热至500～1200℃；（3）向反应腔体内通入反应气体，通气时间为1~20小时，在通气过程中，基体温度保持在500～1200℃，得到薄膜材料，反应尾气经过金属屑以及喷淋洗涤完全吸收后排出。本发明利用微波加热基体，缩短了基体升温时间，提高了生产效率。
声明：
“利用微波加热的化学气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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