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碳/碳多晶硅铸锭炉整体式加热器的制备方法

910   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:10:24
本发明公开了一种碳/碳多晶硅铸锭炉整体式加热器的制备方法。该方法是将已涂刷树脂的炭布或针刺炭毡一层层缠绕于钢模芯上制成预制体;经加压固化、炭化和化学气相沉积增密处理,使加热器制品密度达到≥1.50g/cm3;通过机械加工使之达到客户要求的形状和尺寸;最后经过CVD碳化硅防护层和高温纯化处理制得碳/碳复合材料多晶硅铸锭炉整体式加热器。本发明比现有的碳素材料加热器的原材料消耗降低90%以上;产品表面有CVD表面沉积碳化硅防护层,阻隔了硅蒸汽和氧等对产品的侵蚀,使用寿命延长至少一倍以上。
声明：
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