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内置电容及其制备方法

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 17:10:23
本发明公开了一种内置式电容，其包括第一电极、第二电极和设于第一电极和第二电极之间的介电层，介电层和第一电极之间设有第一过渡层，介电层和第二电极之间设有第二过渡层，介电层的材料为无机介电材料，第一过渡层和第二过渡层的材料均为环氧树脂或聚酰亚胺。本发明还公开了相应的制备方法。由于本发明在介电层和电极之间设有过渡层，过渡层和介电层没有采用无机/有机复合材料，省去了制备复合材料的环节，降低了原材料混入杂质的可能性，有利于制备高品质电容。另一方面，本发明可以采用喷墨打印的工艺制备过渡层，以及采用磁控溅射的工艺制备介电层，使得过渡层和介电层的厚度可以得到精确控制，提高了生产高品质内置电容的成品率。
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