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SiC纤维表面的钛涂层的制备方法及装置

859   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:09:20
本发明涉及一种SiC纤维表面的钛涂层的制备方法及装置，采用化学气相沉积(CVD)方法在SiC纤维表面制备一定厚度的钛涂层作为制备钛基复合材料的先驱丝。通过调节TiCl4气体流量、H2流量、Ar流量、温度和时间等工艺参数，在SiC纤维表面制备得到了一定厚度的钛涂层，在实验温度下钛涂层沉积速率最高可达到16μm/min，有希望提高钛基复合材料的制备效率并降低成本。本发明提供的装置：固定拉直纤维避免了加热温度高的纤维贴壁对玻璃管而造成损害，在气体管道上缠上加热带给管道加热，避免气态TiCl4流经气体管道时冷凝成液体粘附在其内壁；水银槽周围的冷却循环水系统可给接触反应壁的水银降温，避免其在空气中被人体吸收而造成严重的健康危害。
声明：
“SiC纤维表面的钛涂层的制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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