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柔性薄膜体声波谐振器及其制备方法

734   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:08:29
本发明涉及射频微机电系统技术领域，提出一种柔性薄膜体声波谐振器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、压电层和上电极，其中上电极和下电极的材质为石墨烯、碳纳米管或聚3,4‑乙烯二氧噻吩，压电层的材质为ZnO纳米棒和P(VDF‑TrFE)组成的复合材料，或氮化铝和P(VDF‑TrFE)组成的复合材料。本发明还提出一种柔性薄膜体声波谐振器的制备方法：固定衬底，在衬底上通过还原氧化石墨制备下电极；在下电极上利用水热法制备ZnO纳米棒；在ZnO纳米棒上旋涂P(VDF‑TrFE)，并真空退火处理；在ZnO/P(VDF‑TrFE)上通过还原氧化石墨制备上电极并进行极化；在上电极上沉积固化聚二甲基硅氧烷溶液制备保护层。本发明具有高柔性、高品质因素、高谐振频率的特点，可应用于射频电路中的滤波器及触觉检测领域。
声明：
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