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高频窄带声表面波器件的制作方法

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:08:28
本发明涉及一种声表面波ASW器件的制作方 法，为增宽频率调整范围、提高器件温度稳定性而设 计。本发明以AlN/CT切石英复合材料作为声表 面波载体，具有超常的温度稳定性，且工艺简便、实 用，用增加AlN膜厚的方法来调整器件的中心频率 偏差，调频范围大，灵敏度高，调整后的器件频率稳 定。
声明：
“高频窄带声表面波器件的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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