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可溶性聚酰亚胺的生产工艺

697   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:08:27
本发明公开了一种可溶性聚酰亚胺的生产工艺,它包括聚酰胺酸溶液的配制、P型硅衬底的清洗、P型硅衬底的氧化、蒸镀含硅的铝电极等步骤。由于本发明用均苯二酐PMDA不经过二酐,直接和二苯醚二胺ODA聚合得到聚酰亚胺,与通常采用聚酰亚胺与其他材料混合加工的方法制备聚酰亚胺复合材料而使聚酰亚胺薄膜导电的功能相比较,本发明具有生产工艺简单、成本低廉和导电性均匀等特点,而且与标准CMOS工艺兼容,可用于集成电路生产工艺中铝电极的保护。
声明：
“可溶性聚酰亚胺的生产工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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