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应用TSV技术的电子器件及其制作方法

730   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:07:00
本发明提供一种应用TSV技术的电子器件及其制作方法，涉及微电子技术领域。本发明提供的应用TSV技术的电子器件包括至少一个半导体衬底，所述半导体衬底上设置有至少一个连接孔，连接孔贯穿半导体衬底，连接孔内填充有导电体，导电体的一端用于与第一电子元件电连接，导电体的另一端用于与第二电子元件电连接，导电体具有第二熔点，导电体由导电复合材料在室温下自身内部发生反应后形成，导电复合材料为由具有第一熔点的低熔点金属和熔点在500℃以上的高熔点粉末部分合金化后形成的混合物，第二熔点高于所述第一熔点，且第一熔点在300℃以下。本发明的技术方案能够简单快速地应用TSV技术实现不同电子元件的电连接。
声明：
“应用TSV技术的电子器件及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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