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薄膜压力传感器及其制备方法

1046   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:05:12
本申请属于传感器技术领域，提供了一种薄膜压力传感器及其制备方法，薄膜压力传感器包括功能薄膜和电极组，电极组与功能薄膜接触，功能薄膜为功能复合材料层，功能复合材料层包括导电性填料和树脂基体，导电性填料填充于树脂基体中，或者功能薄膜为多层结构，多层结构包括基底、设于基底上的高导电性层以及形成于高导电性层上的高电阻材料层，高电阻材料层包括导电性填料和树脂基体，导电性填料填充于树脂基体中，功能薄膜的表面设有依序排列的凸起结构，通过采用具有高硬度、高耐磨特点的基体树脂构成导电性的功能薄膜，解决了目前电阻传感器存在的线性度和量程低、一致性低等问题。
声明：
“薄膜压力传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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