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氮化硅基体的制备方法

650   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:05:11
本发明涉及一种氮化硅基体的制备方法，主要用于纤维增韧陶瓷基复合材料、多孔陶瓷材料基体的制备。本发明采用化学气相渗透/化学气相沉积技术在基底材料内部/表面沉积氮化硅基体/涂层，通过控制工艺参数调整陶瓷基体的沉积速度、沉积厚度以及渗透均匀性。本发明充分利用化学气相渗透/化学气相沉积工艺的优势，制备的氮化硅基体具有沉积渗透深度大、与基底结合好、性能高等特点。结合氮化硅基体的透波特性，此种制备方法还将为连续纤维增韧陶瓷基复合材料的结构功能一体化设计奠定基础。
声明：
“氮化硅基体的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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