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镀膜用C/h-BN复合蒸发舟及其制造方法

575   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:04:14
本发明涉及真空蒸发镀铝薄膜用蒸发元件及其制作方法，具体涉及一种镀膜用C/h‑BN复合蒸发舟及其制造方法，该复合蒸发舟的舟体由C/h‑BN复合材料制成，所述C/h‑BN复合材料由多层六方氮化硼和石墨发热体自上而下交替叠放并通过热压烧结成一整体，其特征在于：所述舟体表层为带有蒸发槽的六方氮化硼烧结层，所述舟体底层为石墨发热体，该石墨发热体表面至少涂覆一层抗氧化热阻涂层。本发明所述蒸发舟的电阻率相对稳定、发热稳定，避免了因局部发热不均而导致蒸发材料的溅射，提高了镀膜质量。同时由于六方氮化硼烧结层保护了舟体，延长了使用寿命。本发明所使用的抗氧化热阻涂层，大幅度降低了石墨发热体在真空环境下的热辐射热能散失，起到了节约电能的作用。
声明：
“镀膜用C/h-BN复合蒸发舟及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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