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化学气相沉积炉炉盖

747   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:02:47
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉炉盖，包括水冷钢外壳，水冷钢外壳上端设置有排气管，水冷钢外壳下端外侧设置有侧板，侧板内填充保温棉；水冷钢外壳底部放置有底板，水冷钢外壳下部穿过保温棉和底板焊接有连接杆，连接杆通过螺母拧紧在压紧底板底部。本实用新型通过碳/碳复合材料板材作为化学气相沉积炉炉盖底板，由于碳/碳复合材料具有低密度、高强度、耐高温、耐腐蚀气氛等优点，有效解决了传统化学气相沉积炉炉盖长期使用后底板碳化，变形，焊缝开裂、掉落的问题，而且随着使用时间的增加，碳/碳复合材料底板密度增加，强度也随之提高。
声明：
“化学气相沉积炉炉盖” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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