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具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚及其制备方法

953   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:02:46
本发明公开了一种具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚，包括炭/炭复合材料坩埚以及覆盖在炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅/硅涂层，碳化硅/硅涂层由碳化硅涂层和覆盖在碳化硅涂层上的硅涂层组成。本发明还公开了一种具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚的制备方法，该方法包括：一、炭纤维预制体增密；二、经加工得炭/炭复合材料坩埚；三、采用等离子喷涂法在炭/炭坩埚基体内表面喷涂得到具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚。本发明通过设置碳化硅/硅涂层，避免了含硅蒸汽对坩埚内表面的侵蚀，延长了坩埚的使用寿命；本发明采用等离子喷涂法，提高了碳化硅/硅涂层与炭/炭坩埚基体的结合强度，改善了具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚的表面质量。
声明：
“具有碳化硅/硅涂层的炭/炭坩埚及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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