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新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法

1120   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:02:45
本发明涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法，属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域，包括坩埚体，所述坩埚体为上端开口的腔型结构，所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯‑二氧化硅复合材料层，所述石墨烯‑二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。本发明的一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法，通过在坩埚中添加石墨烯‑二氧化硅复合材料层，能有效地增强材料的力学性能和热学性能，使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性，可以有效地减少坩埚的溢流率，同时使用该复合坩埚可降低铸锭过程的能耗，提高多晶硅晶体的质量，满足市场需求。
声明：
“新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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