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用于电嘴的半导体部件制作方法

981   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:02:45
本发明提供一种用于电嘴的半导体部件制作方法,其特征在于,包括以下步骤:将碳化硅半导体(1)、烧结复合材料(2)、高铝瓷(3)在常温下,按碳化硅半导体(1)在上、烧结复合材料(2)居中、高铝瓷(3)在下的组合顺序,进行初步成型,形成待烧结组件;将待烧结组件,在1800℃热等静压烧结两小时,制成半导体部件。本发明通过将半导体和绝缘体整体烧结为半导体部件,降低了加工难度;通过在碳化硅半导体(1)与高铝瓷(3)之间加入烧结复合材料(2),以及通过减小碳化硅半导体厚度(1),降低了能量损耗;解决了现有技术中用于电嘴的半导体部件加工难度大、能量损耗大的技术问题。
声明:
“用于电嘴的半导体部件制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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