本发明提供一种用于电嘴的半导体部件制作方法,其特征在于,包括以下步骤:将碳化硅半导体(1)、烧结
复合材料(2)、高铝瓷(3)在常温下,按碳化硅半导体(1)在上、烧结复合材料(2)居中、高铝瓷(3)在下的组合顺序,进行初步成型,形成待烧结组件;将待烧结组件,在1800℃热等静压烧结两小时,制成半导体部件。本发明通过将半导体和绝缘体整体烧结为半导体部件,降低了加工难度;通过在碳化硅半导体(1)与高铝瓷(3)之间加入烧结复合材料(2),以及通过减小碳化硅半导体厚度(1),降低了能量损耗;解决了现有技术中用于电嘴的半导体部件加工难度大、能量损耗大的技术问题。
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