本发明涉及电容式压力传感器技术领域,尤其涉及一种柔性电容式压力传感器及其制备方法。包括:顶部电极、底部电极,
复合材料介质层以及导线;所述顶部电极、底部电极均由表面设置有导电聚合物层的基板构成;所述导电聚合物层中埋设有延伸到导电聚合物层外部的导线;所述复合材料介质层在所述顶部电极、底部电极上的导电聚合物层表面均有设置;所述柔性电容式压力传感器由顶部电极、底部电极设置有复合材料介质层的一面面对面组合形成。本发明制备的传感器灵敏度高、迟滞小、可重复性好的高性能柔性电容式压力传感器,且制备成本低廉、方法简单,可大规模生产,这种传感器可广泛应用于人机交互系统、探测传感器系统、医疗健康检测设备等领域。
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