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柔性压力传感器及其制备方法

836   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:00:09
本发明公开了一种柔性压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。柔性压力传感器包括上柔性保护膜、上电极、柔性微孔/微结构传感基片、下电极和下柔性保护膜；柔性微孔/微结构传感基片的表面具有微结构阵列且内部具有微孔结构，其被夹在上电极与下电极之间。柔性压力传感器的制备包括下述步骤：制备导电高分子复合材料；制备具有表面微结构的柔性复合材料薄片；将具有表面微结构的柔性复合材料薄片进行超临界流体发泡，制备柔性微孔/微结构薄片；制备柔性微孔/微结构传感基片；将柔性微孔/微结构传感基片与电极和柔性保护膜一起层叠封装成柔性压力传感器。本发明制备的柔性压力传感器兼具高灵敏度和宽检测范围。
声明：
“柔性压力传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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