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用于石墨烯生长的载具

869   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:58:49
本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具，载具包括立方体框架，立方体框架的底端上设有底挡板，立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板，两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽，两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应，在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽，立方体框架的顶端设有若干横向石英棒，相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板，碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上，将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后，将生长基底置于载具上，有效防止生长基底粘连，提升炉体加工产能。
声明：
“用于石墨烯生长的载具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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