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基于InAsN-GaAsSb材料的交错型异质结隧穿场效应晶体管

938   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:58:03
本发明公开了一种基于InAsN-GaAsSb材料的交错型异质结隧穿场效应晶体管，主要解决现有III-V族材料制备场效应晶体管开态电流较低的问题。其包括衬底(1)、源极(2)、沟道(3)、漏极(4)、绝缘介电质薄膜(5)及栅电极(6)。源极采用N组分为(0,0.05]的InAsN复合材料；沟道和漏极均采用Sb组分为[0.35,0.65]的GaAsSb复合材料；在衬底上，源极、沟道、漏极形成自下而上竖直分布。本发明通过源极InAsN与沟道GaAsSb两种材料相互接触，形成交错型异质隧穿结，进而有效降了低隧穿势垒高度，增大隧穿几率和隧穿电流，提了器件的整体性能，可用于制作大规模集成电路。
声明：
“基于InAsN-GaAsSb材料的交错型异质结隧穿场效应晶体管” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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